氯化氫的純度直接決定了氯化氫的應(yīng)用領(lǐng)域。高純度氯化氫要求純度大于99.999%,總雜質(zhì)含量小于5ppm,可以應(yīng)用于電子工業(yè)中半導(dǎo)體材料生產(chǎn)企業(yè)在單晶硅片氣相拋光、外延基座腐蝕和硬質(zhì)合金鍍膜工藝中使用。
要保證純度合格,必須嚴(yán)格控制氯氫處理各控制點(diǎn)保證H2、CL2含水指標(biāo)達(dá)到要求減少對(duì)合成爐燈頭是否腐蝕。2、H2、CL2壓力的影響:為了保證生產(chǎn)安全平穩(wěn)運(yùn)行,我們工藝要求進(jìn)入合成爐的H2壓力不低于80Kpa但不大于85KPa。主要是保證高的H2壓力可以給操作工爭(zhēng)取在H2急劇下降的情況下爭(zhēng)取調(diào)節(jié)的時(shí)間。而如果H2壓力 高于85Kpa時(shí),H2就會(huì)在氫氣分配臺(tái)自動(dòng)排空,造成浪費(fèi)。CL2壓 力運(yùn)行中我們一般保持在140Kpa左右平穩(wěn)運(yùn)行,過低HCL純度達(dá)不到要求太高就會(huì)自動(dòng)走事故氯系統(tǒng)。所以保證HCL氣體純度高且 安全穩(wěn)定的另外一個(gè)非常主要的前提是H2、CL2壓力平穩(wěn)無太大的 波動(dòng)。3、CL2與H2配比的影響:經(jīng)處理后合格的CL2與H2經(jīng)過流量計(jì)、 調(diào)節(jié)閥與切斷閥在合成 爐石英燈頭處進(jìn)行燃燒生成HCL氣體。按照理論CL2和H2完全燃 燒是按照摩爾質(zhì)量1:1完全發(fā)生反應(yīng),而PVC實(shí)際生產(chǎn)要求HCL氣 體中不能含有游離氯 (因?yàn)槲⒘康挠坞x氯能與乙炔氣迅速的發(fā)生反應(yīng) 生成具有爆炸性的氯乙炔氣體引發(fā)事故) ,所以在實(shí)際生產(chǎn)中我們要求H2過量于CL2 0.05--0.1摩爾體積,保證產(chǎn)品氣HCL中不含有游離氯。在實(shí)際操作過程中,需嚴(yán)格要求DCS操作工準(zhǔn)確熟練地及時(shí)根據(jù)H2、CL2的壓力來調(diào)節(jié)進(jìn)合成爐的兩種氣體配比,確保生產(chǎn)安全的前提下保證HCL純度。4、其它原因影響:除了上述提出的主要影響因素外,影響HCL純度的其它因素還有儀表流量計(jì)自控閥的準(zhǔn)確度和其它工序生產(chǎn)波動(dòng)等諸多原因。
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