淄博言赫特氣有限公司現(xiàn)有年產(chǎn)2000噸高純氯化氫生產(chǎn)線，連續(xù)批量生產(chǎn)應(yīng)用于單晶硅外延片制造的5N(99.999%)電子級(VLSI)氯化氫，以及應(yīng)用于醫(yī)藥中間體、農(nóng)藥及精細化學(xué)品制造的2.8N(99.8%)化學(xué)級氯化氫氣體。
    電子及氯化氫在我們生活的各個領(lǐng)域中具有廣泛的應(yīng)用前景，它不僅是電子工業(yè)中制造大規(guī)模集成電路所需的重要材料之一，而且應(yīng)用于醫(yī)藥、化工、半導(dǎo)體行業(yè)，因此需求量越來越大。
    目前已有研究人在研究制備過程中成功合成了電子級氯化氫，同時從這些合成方法中發(fā)現(xiàn)解析法和鹽酸脫析法制備氯化氫工藝簡單課大規(guī)模生產(chǎn)，但是制備的氯化氫純度偏低，越來越不滿足電子工業(yè)，尤其是集成電路的要求。合成法生產(chǎn)氯化氫的純度偏高，但其中水量高，腐蝕嚴重，對設(shè)備要求高，生產(chǎn)成本高。考慮到環(huán)保以及工業(yè)副產(chǎn)品回收利用等多方面因素，制備高純度氯化氫的合成是必然的發(fā)展趨勢，正如石油化工副產(chǎn)物氯化氫提純法。
    此提純法無需外加反應(yīng)介質(zhì)，因而避免了其它雜質(zhì)介質(zhì)的引入，而且操作簡單，生產(chǎn)成本低，但是在我國技術(shù)還不太成熟。我國的電子級氯化氫產(chǎn)品大多從美，日等國進口，價格昂貴。2003年10月我公司電子及氯化氫通過了北京市科委科技成果鑒定，獲得國家授權(quán)專利，具有自主知識產(chǎn)權(quán)。經(jīng)國內(nèi)外多家半導(dǎo)體材料生產(chǎn)企業(yè)在單晶硅片氣相拋光、外延基座腐蝕和硬質(zhì)合金鍍膜工藝中使用證明，其主要性能技術(shù)指標與國外同類產(chǎn)品相當(dāng)，填補了我國電子級氯化氫產(chǎn)品生產(chǎn)的空白。